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氯化氫，是半導體制作的“關鍵特氣”，極其微小的雜質就能讓晶圓留下致命缺陷。以往氯化氫氣體提純技術被極個別國家攥在手里，成了行業里多年難以破解的難題。倪峰，湖北玖恩智能科技有限公司總工程師。多年前在國外企業時，他總被攔在核心設備調試區外，這份“看得見差距卻摸不到關鍵”的憋屈，讓他決心造出中國自己的氯化氫特氣提純設備。

氯化氫氣體提純，關鍵在于材料的配方及加工。這便需要通過大量實驗逐步摸索。那段時間，倪峰實驗室的燈光從未熄滅，團隊成員的目光也始終定格在檢測屏幕上，倉庫早已被實驗廢料堆滿。經過三百多次配方調整，檢測屏上的雜質值穩定停在了15個ppb以下，所有堅持有了答案。如今湖北玖恩的氯化氫氣體純化設備不僅通過了嚴苛的穩定性測試，更是進駐了眾多國內頂.尖半導體工廠，解決了行業公認的世界性難題，讓中國芯片用上“中國造”的超高純氯化氫特氣。這不僅填補了國內空白，更達到了世界水平。

光刻機的使用對氣體環境要求是極致的，需要用到超高純無油壓縮空氣-XCDA氣體，為光刻機的鏡頭進行保護，同樣是玖恩必要突破的難關。XCDA氣體是光刻機鏡頭的“保護神”，12個9的純度標準，特別是酸、堿等雜質，要達到10個ppt的水平，相當于在一百座標準體育館里裝滿白色乒乓球，而這里面只允許存在一個黃色乒乓球。團隊把“精”做到極致，就要把吸附材料孔徑打磨到頭發絲的萬分之一，使米粒大小的一顆吸附材料有巨大的內表面積。這樣的標準，曾被國外企業筑成密不透風的技術堡壘，連認證的門檻都對國產設備豎起高墻。

解決了光刻機鏡頭的保護問題，玖恩又將目光投向了“高溫考驗”。當國內設備還停留在500℃工況下的氫氣去甲烷的純化時，玖恩卻已快人一步，做到600℃的極高溫去甲烷氫氣提純技術，這不僅是數字上的跨越，更是中國半導體氫氣純化技術達到世界最高難度、最高標準的重要一步。

芯片的制造，同樣離不開大宗氣體的保護。大流量超高純度氣體設備的品質和穩定，是半導體產業技術升級、芯片產能提升的關鍵。如今的玖恩，氮氣純化器已憑國內最大單體流量每小時兩萬立方，品質達到“十個九”的純度站上世界前沿。這臺高穩定性設備，為中國芯片筑起了靠譜的“屏障”。技術攻堅的路上，每攻克一道難關都是向自主可控靠近，這背后始終有產業力量的托舉。

從氣體純化的世界難題，到領先世界水平，玖恩的腳步從未停歇。那些在設備上精益求精的調試、為達到標準反復打磨的配方，都藏著“不棄微末”的執著。從打破國外封鎖，到領先世界水平的純度，這份“久久為功”的堅守，始終呼應著“制造一流純化設備”的初心。未來，玖恩的設備將以全國為基輻射全球，成為推動行業發展的核心力量，引領氣體純化技術邁向新高度，在更多核心領域，續寫突破的故事。