近日，我司在高純度氣體純化技術(shù)領(lǐng)域取得重大突破，成功研發(fā)出超臨界超高純二氧化碳純化器，可將多種雜質(zhì)純化至低于10ppt的極致水平，這一技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際水平。

技術(shù)突破，實(shí)現(xiàn)多種雜質(zhì)低于10ppt的極致純度

近日，我司在高純度氣體技術(shù)領(lǐng)域傳來令人振奮的消息：一款超臨界超高純二氧化碳純化器成功研發(fā)并投入使用，該設(shè)備能夠?qū)⒍趸贾卸喾N雜質(zhì)純化至低于10ppt的極致水平。

這一技術(shù)突破標(biāo)志著我司在高純度氣體純化領(lǐng)域邁入了國際行列，為半導(dǎo)體芯片、高端制造業(yè)、科研實(shí)驗(yàn)等眾多領(lǐng)域提供了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支撐。

據(jù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)透露，該純化器采用多項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)，這一純化精度相當(dāng)于在萬億個(gè)氣體分子中，雜質(zhì)分子數(shù)量不超過10個(gè)，幾乎達(dá)到了純化技術(shù)的理論極限。

技術(shù)創(chuàng)新，攻克超高純度純化多重難題

實(shí)現(xiàn)超臨界狀態(tài)下二氧化碳的極致純化，需要解決一系列技術(shù)難題。研發(fā)團(tuán)隊(duì)突破了傳統(tǒng)純化技術(shù)的局限，采用了多級(jí)純化、超臨界流體精密純化等創(chuàng)新技術(shù)。

純化系統(tǒng)的核心在能夠保持二氧化碳的超臨界流體狀態(tài)并且捕捉到超臨界流體中萬億級(jí)別的雜質(zhì)，采用一用一備的雙系統(tǒng)配置，確保純化過程的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。

在再生階段，通過精密的流體控制和多頻段加熱控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了高效脫除雜質(zhì)，確保純化品質(zhì)的穩(wěn)定性。

此外，團(tuán)隊(duì)還開發(fā)了超高性能的吸附劑，這些材料具有極高的吸附選擇性和容量，能夠針對(duì)性地去除超臨界二氧化碳中的微量雜質(zhì)。

對(duì)于小流量氣體的純化，團(tuán)隊(duì)專門設(shè)計(jì)了特殊的純化裝置，通過優(yōu)化金屬管道內(nèi)顆粒狀和粉末狀吸附劑材料的填充比例和溫度梯度控制，實(shí)現(xiàn)了極低雜質(zhì)水平的純化效果。

應(yīng)用廣泛，滿足高端產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求

這款超臨界超高純二氧化碳純化器的問世，將滿足多個(gè)高端產(chǎn)業(yè)對(duì)氣體純度的極致要求。

在半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域，高純度氣體是確保芯片良率和性能的關(guān)鍵。任何微量雜質(zhì)都可能導(dǎo)致芯片缺陷，隨著芯片制程工藝不斷縮小，對(duì)工藝氣體的純度要求也越來越高。

超臨界二氧化碳清洗技術(shù)已成為半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工藝，而清洗劑的純度直接決定了清洗效果和產(chǎn)品成品率。

在化合物半導(dǎo)體、光伏、光纖等新興產(chǎn)業(yè)，高純度二氧化碳同樣是不可或缺的工藝氣體。

此外，醫(yī)療和科研領(lǐng)域也對(duì)高純度氣體有著旺盛需求。如亞果生醫(yī)利用超臨界二氧化碳流體技術(shù)開發(fā)生物醫(yī)療材料，其技術(shù)核心就在于高效、無污染的純化過程。

在能源系統(tǒng)中，如超臨界二氧化碳布雷頓循環(huán)發(fā)電系統(tǒng)，工質(zhì)的純度直接關(guān)系到系統(tǒng)的安全性和效率。

前景廣闊，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)與技術(shù)革新

這款超臨界超高純二氧化碳純化器的成功開發(fā)，不僅打破了國外技術(shù)壟斷，更為我國制造業(yè)升級(jí)提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐。

隨著 “碳達(dá)峰碳中和”戰(zhàn)略的推進(jìn)，二氧化碳的捕集和資源化利用日益受到重視。

高純度二氧化碳純化技術(shù)將為二氧化碳的高附加值利用開辟新的途徑，推動(dòng)低碳綠色技術(shù)的發(fā)展。

研發(fā)團(tuán)隊(duì)表示，下一步將繼續(xù)優(yōu)化純化器的能效和穩(wěn)定性，進(jìn)一步降低運(yùn)行成本，同時(shí)開發(fā)適用于不同場(chǎng)景的系列產(chǎn)品，滿足各類用戶的需求。

未來，這一技術(shù)平臺(tái)還可望擴(kuò)展到其他高純度氣體的制備，為我國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供更為全面的基礎(chǔ)材料支撐。

隨著半導(dǎo)體工業(yè)、新材料和新能源等領(lǐng)域的快速發(fā)展，對(duì)超高純度氣體的需求將持續(xù)增長(zhǎng)。這項(xiàng)技術(shù)的突破性進(jìn)展，不僅提升了我國在高純度氣體供應(yīng)方面的自主能力，更為整個(gè)高科技產(chǎn)業(yè)鏈的安全穩(wěn)定提供了保障。

未來，研發(fā)團(tuán)隊(duì)將進(jìn)一步優(yōu)化系統(tǒng)性能，拓展應(yīng)用領(lǐng)域，為我國高端制造業(yè)的發(fā)展注入新的動(dòng)力。