?流量范圍10-10000Nm3/h

?可配置0.003微米過濾器

?出口氣體中各雜質(zhì)含量小于1ppb

?全自動催化再生、連續(xù)供氣

?可以從惰性氣體中去除甲烷

?使用壽命長達20年以上

?316L SS EP純化罐

?根據(jù)客戶需求定制各項參數(shù)

適用氣體

N?

型號

EGS9

工藝

CAT+ADS

雜質(zhì)

INLET

OUTLET

ppm

ppb

H?O

<5

<1

O?

<3

<1

co

<1

<1

CO?

<1

<1

H?

<2

<1

CH?

<0.5

<1

NMHC

<1

<1

PARTICLES

—

≤1pcs/m3(@0.003μm)

流量范圍

—

10-20000Nm3h

流量范圍Nm3/h

工藝氣體

產(chǎn)品工藝

壓力范圍Bar

參考尺寸mm

10-70

N?

1 x CAT + 2 x ADS 自動再生

3.5-10

1200*1200*1900

80-150

N?

1 x CAT + 2 x ADS 自動再生

3.5-10

1450*1450*2050

200-300

N?

1 x CAT + 2 x ADS 自動再生

3.5-10

1650*2000*2300

400-700

N?

1 x CAT + 2 x ADS 自動再生

3.5-10

1900*2300*2500

800-1000

N?

1 x CAT + 2 x ADS 自動再生

3.5-10

2000*2600*2500

1500-2000

N?

1 x CAT + 2 x ADS 自動再生

3.5-10

4200*2390*2700

2500-3000

N?

1 x CAT + 2 x ADS 自動再生

3.5-10

4200*2720*2700

3000-4000

N?

1 x CAT + 2 x ADS 自動再生

3.5-10

5000*2750*2750

5000-6000

N?

1 x CAT + 2 x ADS 自動再生

3.5-10

6000*2750*2750

7000-10000

N?

1 x CAT + 2 x ADS 自動再生

3.5-10

9000*2900*2750

?大規(guī)模集成電路制造

?光纖預(yù)制棒生產(chǎn)

?半導(dǎo)體分立器件制造

?眾多半導(dǎo)體工藝設(shè)備配套

?大尺寸硅片、襯底、外延片生產(chǎn)

?超高純氣體、混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn)

?LED、激光器制造

?吹掃氣體、載氣及零點氣體純化

?平板顯示器生產(chǎn)

?大學(xué)和研究所等科研機構(gòu)產(chǎn)品研發(fā)

?高效太陽能電池生產(chǎn)

?醫(yī)藥及食品行業(yè)