EGS22 XCDA純化器

可選流量范圍 10-20000CMH

? 產品介紹

玖恩智能XCDA EGS22系列純化器由采用裝填有定制物料的吸附桶在純化和再生兩個模式之間交替工作，實現24H不間斷供氣，具備完善的報警、聯鎖、數據記錄功能，可實現無人看守自動運行，可自動切換再生，再生是通過純化后的工藝氣體進行加熱吹掃，純化模式時吸附桶是在常溫下進行工作，再生時的工作溫度在 280-300℃之間。

? 產品特點

?流量范圍10-20000Nm3/h	?可配置0.003微米過濾器
?出口氣體中各雜質含量小于10ppt	?全自動再生、連續供氣
?使用壽命長達20年以上	?316L SS EP純化罐
?根據客戶需求定制各項參數

? 純化能力

適用氣體	XCDA
型號	EGS22
工藝	ADS
雜質	OUTLET
H?O	<100ppt
CO?	<100ppt
TOC(as C7H8)	<10ppt
Acids(as SO?)	<10ppt
Bases(as NH?)	<10ppt
Refractory Compounds(as HMDSO)	<10ppt
PARTICLES	≤1pcs/m3(@0.003μm)
流量范圍	10-20000Nm3h

? XCDA入口品質為GBT 13277.1-2008要求的一級或更高等級的壓縮空氣

? 備注：表格中僅列出標準型號的指標和配置，更多特殊要求請與工廠聯系

? 產品選型

流量范圍Nm3/h	工藝氣體	產品工藝	壓力范圍Bar	參考尺寸mm
流量范圍Nm3/h	工藝氣體	產品工藝	壓力范圍Bar	參考尺寸mm
1-10	XCDA	2 x ADS 自動再生	3.5-10	10505151600
30-50	XCDA	2 x ADS 自動再生	3.5-10	8509002000
60-150	XCDA	2 x ADS 自動再生	3.5-10	135011502100
200-300	XCDA	2 x ADS 自動再生	3.5-10	135011502100
400-1000	XCDA	2 x ADS 自動再生	3.5-10	180017002450
1500-2000	XCDA	2 x ADS 自動再生	3.5-10	269023902700
2500-3500	XCDA	2 x ADS 自動再生	3.5-10	265026502650
4000-6000	XCDA	2 x ADS 自動再生	3.5-10	265026502750
7000-12000	XCDA	3 x ADS 自動再生	3.5-10	290046002750
12000-20000	XCDA	4 x ADS 自動再生	3.5-10	290046002750

? 應用領域

?大規模集成電路制造	?光纖預制棒生產
?半導體分立器件制造	?眾多半導體工藝設備配套
?大尺寸硅片、襯底、外延片生產	?超高純氣體、混合氣體和標準氣體生產
?LED、激光器制造	?吹掃氣體、載氣及零點氣體純化
?平板顯示器生產	?大學和研究所等科研機構產品研發
?高效太陽能電池生產	?醫藥及食品行業

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EGS22 XCDA純化器

可選流量范圍 10-20000CMH

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