?流量范圍10-700Nm3/h

?可配置0.003微米過濾器

?出口氣體中各雜質含量小于1ppb

?全自動再生、連續供氣

?使用壽命長達20年以上

?316L SS EP純化罐

?根據客戶需求定制各項參數

適 用 氣 體

CO?

型 號

EGS32

工 藝

ADS

雜質

OUTLET

ppb

H?O

<1

O?

<1

Co

<1

H?

<1

Total Volatile Acids(as SO2)

<0.005

Total Volatile Bases(as NH3)

<0.5

Condensable Organics(HCS>100 amu,as Decane)

<0.15

Non-Condensable Organics(HCS>58 amu,as Toluene)

<1

Refractonies(as HMDSO)

<0.005

PARTICLES

≤1pcs/m3(@0.003μm)

流量范圍

10-700Nm3h

流量范圍Nm3/h

工藝氣體

產品工藝

壓力范圍Bar

參考尺寸mm

1-10

CO?

2 x ADS 自動再生

3.5-10

850*900*2000

60-300

CO?

2 x ADS 自動再生

3.5-10

1350*1150*2100

400-700

CO?

2 x ADS 自動再生

3.5-10

1800*1700*2450

?大規模集成電路制造

?光纖預制棒生產

?半導體分立器件制造

?眾多半導體工藝設備配套

?大尺寸硅片、襯底、外延片生產

?超高純氣體、混合氣體和標準氣體生產

?LED、激光器制造

?吹掃氣體、載氣及零點氣體純化

?平板顯示器生產

?大學和研究所等科研機構產品研發

?高效太陽能電池生產

?醫藥及食品行業